旭日隆华电热管生产商

工业电加热器成套设备以及相关产品的企业之一,主导产品有:电热管,热电偶

正文

管状电加热器洁 净 厂 房 设 计 规 范


GBJ73—84
主编部门:中华黎民共和国电子工业部
照准部门:中华黎民共和国国度计划委员会
履行日期:1985年6月1日
目录
第一章总则
第二章氛围洁净度等级
第三章总体打算
第一节洁净厂房地点抉择和总立体布置
第二节工艺布置和打算综合妥洽
第三节噪声把持
第四节微振把持
第四章建设
第一节一般规定
第二节人员污染和物料污染设施
第三节防火和分散
第四节室内装修
第五节装配式洁净室
第五章氛围污染
第一节一般规定
第二节洁净室正压把持
第三节气流组织和送风量
第四节氛围污染处理
第五节采暖通风
第六节风管和附件
第六章给水排水
第一节一般规定
第二节给水
第三节排水
第四节消防设施
第七章工业气体管道
第一节一般规定
第二节管道原料、阀门和附件
第三节管道连接和清洗
第四节安全技术
第八章电气
第一节配电
第二节照明
第三节把持、通信和防护
附录一名词证明
附录二洁净室氛围洁净度的测试
附录三洁净厂房临蓐的火灾危险性分类举例
附录四污染氛围调动体例打算对施工的要求
附录五污染氛围调动体例打算对维护管理的要求
附录六污染氛围调动体例风管壁厚
附录七本范例用词说明
第一章总则
第1.0.1条洁净厂房打算必需贯彻执行国家的有关方针政策,做到技术前辈、经济合理、安全适用、确保质量,符合俭省动力和环境爱惜的要求。
第1.0.2条本范例适用于新建和改建、扩建的洁净厂房打算,但不适用于以细菌为把持对象的生物洁净室。本范例有关防火和分散、消防设施章节的规定,不适用于建设高度超出24米的高层洁净厂房和公开洁净厂房的打算。
第1.0.3条在利用原有建设进行洁净技术改造时,洁净厂房打算必需根据临蓐工艺要求,因时制宜、区别看待,充分利用已有的技术设施。
第1.0.4条洁净厂房打算应为施工安设、维护管理、检修测试和安全运转发明必要的条件。
第1.0.5条洁净厂房打算除应按本范例执行外,尚应符合现行的国度准则、范例的有关要求。
第二章氛围洁净度等级
第2.0.1条氛围洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。
注:对于氛围洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数,应进行屡次采样,当其屡次出现时,方可以为该测试数值是确实的。
第2.0.2条洁净室氛围洁净度等级的检验,应以静态条件下测试的尘粒数为依据。洁净室氛围洁净度的测试,应符合附录二规定。
第三章总体打算
第一节洁净厂房地点抉择和总立体布置
第3.1.1条洁净厂房地点的抉择,应根据下列要求并经技术经济计划对比后确定:
一、应在大气含尘浓度较低,天然环境较好的区域;
二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及披发大量粉尘和无害气体的工厂、贮仓、堆场等有吃紧氛围污染、振动或噪声骚扰的区域。如不能远离吃紧氛围污染源时,则应位于其最大频次风向优势侧,或全年最小频次风向上风侧;
三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。
第3.1.2条对于兼有微振把持要求的洁净厂房的地点抉择,应现实测定周围现有振源的振动影响,并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行解析对比。
第3.1.3条洁净厂房最大频次风向优势侧有烟囱时,洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。
第3.1.4条洁净厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。
第3.1.5条洁净厂房周围宜设置环形消防车道(可利用交通门路),如有疾苦时,可沿厂房的两个长边设置消防车道。
第3.1.6条洁净厂房周围的门路面层,应选用整体性好、发尘少的原料。
第3.1.7条洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘浓度不孕育发生无害影响的树木,并形成绿化小区。但不窒碍消防操作。
第二节工艺布置和打算综合妥洽
第3.2.1条工艺布置应符合下列要求:
一、工艺布置合理、松散。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有氛围洁净度等级要求的工序和管事室;
二、在餍足临蓐工艺要求的前提下,氛围洁净度高的洁净室或洁净区宜切近亲近氛围调动机房,氛围洁净度等级相同的工序和管事室宜聚集布置,切近亲近洁净区入口处宜布置氛围洁净度等级较低的管事室;
三、洁净室内要求氛围洁净度高的工序应布置在优势侧,易孕育发生污染的工艺设备应布置在切近亲近回风口地点;
四、应思虑大型设备安设和维修的运输路线,并预留设备安设口和检修口;
五、应设置单独的物料入口,物料通报路线应最短,物料进入洁净区之前必需进行清洁处理。
第3.2.2条洁净厂房内宜少设隔间,但在下列境况下可予以分隔:
一、按临蓐的火灾危险性分类,甲、乙类与非甲、乙类相邻的临蓐区段之间,或有防火分隔要求者;
二、临蓐经过中孕育发生较强噪声或披发较多热量、尘粒和无害气体,且不能采取局部措施加以把持者;
三、临蓐关联少,并经常不同时使用的两个临蓐区段之间。
第3.2.3条洁净厂房的立体和空间打算,宜将洁净区、人员污染、物料污染和其他辅助用房进行分区布置。同时应思虑临蓐操作、工艺设备安设和维修、气流组织型式、管线布置以及污染氛围调动体例等各种技术设施的综合妥洽成绩。
第3.2.4条洁净厂房打算必需合理确定各种管线的立体地点和竖向标高。
第3.2.5条洁净厂房内各种稳定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置,宜首先思虑污染氛围调动体例的要求。
第三节噪声把持
第3.3.1条洁净室内的噪声级,应符合下列要求:
一、静态测试时,洁净室内的噪声级不应超出70分贝A。
二、空态测试时,乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A;层流洁净室的噪声级不应大于65分贝A。
注:①由于技术经济条件限制,或噪声大于70分贝A对临蓐无影响时,噪声级可适当放宽,但不宜大于75分贝A;
②上述噪声级是指在室内每一个管事点人耳地点(人离开)的丈量值。对于变化噪声,则取相同地点处在一个正常管事日内的等效不断声压级。
第3.3.2条洁净室的噪声频谱限制,应采用倍频程声压级;各频带声压级值不宜大于表3.3.2的规定。
第3.3.3条洁净厂房的平、剖面布置,应思虑噪声把持的要求,其围护结构应有优良的隔声机能,并宜使各局部隔声量相接近。
第3.3.4条洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超出洁净室允许值的设备,应设置公用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。
第3.3.5条污染氛围调动体例噪声超出允许值时,应采取隔声、消声、隔振等把持措施。除事故排风外,应对洁净室内的排风体例进行减噪打算。
第3.3.6条污染氛围调动体例,根据室内噪声级的要求,风管内风速宜按下列规定选用:
一、总风管为6~10米/秒
二、无送、回风口的支风管为6~8米/秒
三、有送、回风口的支风管为3~6米/秒
第3.3.7条洁净厂房的噪声把持打算必需思虑临蓐环境的氛围洁净度要求,不得因把持噪声而影响洁净室的污染条件。
第四节微振把持
第3.4.1条洁净厂房和周围辅助性站房内有猛烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净室的管道,应采取主动隔振措施。
第3.4.2条对洁净厂房内外各类振源,应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制,也可根据体味对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精密仪器仪表的允许环境振动值进行对比,以确定对其采取必要的隔振措施。
第3.4.3条精密设备、精密仪器仪表的隔振措施,应思虑淘汰发尘量、维系洁净室内合理的气流组织等要求。当采用氛围弹簧隔振台座时,应对气源进行处理,使其抵达洁净室的氛围洁净度等级。
第四章建设
第一节一般规定
第4.1.1条洁净厂房的建设立体和空间布局,应具有适当的天真性。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重。
第4.1.2条洁净室的高度应以净高把持,净高应以100毫米为基础模数。
第4.1.3条洁净厂房主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相妥洽,并应具有防火、把持温度变形和不均匀沉陷机能(地震区应符合抗震打算规定)。厂房变形缝应防止穿过洁净区。
第4.1.4条送、回风管和其他管线需暗敷时,应设置技术夹层、技术夹道或地沟等;穿越楼层的竖向管线需暗敷时,宜设置技术竖井。
第4.1.5条对兼有一般临蓐和洁净临蓐的综合性厂房,其计划打算和机关的处理,应防止在人流与物流运输以及防火方面对洁净临蓐带来不利影响。
第二节人员污染和物料污染设施
第4.2.1条洁净厂房内应设置人员污染、物料污染用室和设施,并应根据必要设置生活用室和其他用室。
第4.2.2条人员污染用室,宜包括雨具寄存间、管理室、换鞋室、存外衣室、盥洗室、洁净管事服室和氛围吹淋室等。厕所、淋浴室、停息室等生活用室以及管事服清洗间和枯燥间等其他用室,可根据必要设置。
第4.2.3条人员污染用室和生活用室的设计,应符合下列要求:
一、人员污染用室的入口处,应设净鞋器。
二、存外衣室和洁净管事服室应差异设置。外衣存衣柜和洁净管事服柜应按打算人数每人设一柜。
三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。
四、洁净区不得设厕所。人员污染用室内的厕所应设前室。
五、氛围吹淋室应设在洁净区人员入口处,并应与洁净管事服室相邻。单人氛围吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时,可改设气闸室。洁净区管事人员超出5人时,氛围吹淋室一侧应设旁通门。
第4.2.4条人流路线应防止往断交错。人员污染用室和生活用室的布置,一般按图4.2.4的人员污染程序进行布置。
图4.2.4人员污染程序
第4.2.5条根据不同的氛围洁净度等级和管事人员数量,洁净厂房内人员污染用室和生活用室的建设面积应合理确定。一般可按洁净区打算人数平均每人4~6平方米计算。
第4.2.6条洁净管事服室内,对氛围污染应有必然的要求。
第4.2.7条洁净室的设备和物料出入口,应根据设备和物料的本质、形态等特征设置物料污染用室及其设施。物料污染用室的布置,应防止污染后物料在通报经过中被污染。
第三节防火和分散
第4.3.1条洁净厂房的耐火等级不应低于二级。吊顶原料应为非点燃体,其耐火极限不宜小于0.25小时。
第4.3.2条洁净厂房内一般的临蓐管事间的火灾危险性,可按附录三进行分类。
第4.3.3条甲、乙类临蓐的洁净厂房,宜采用单层厂房,其防火墙间最大允许占地面积,单层厂房应为3000平方米,多层厂房应为2000平方米。
第4.3.4条甲、乙类临蓐或设置在甲、乙类临蓐环境中的装配式洁净室,其顶棚和壁板(包括外部填充物)应为非点燃体。
第4.3.5条在一个防火区内的综合性厂房,其洁净临蓐与一般临蓐区域之间应设置非点燃体隔墙封锁到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应低于1小时,隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6小时。穿过隔墙或顶板的管线周围空隙应采用非点燃原料紧密填塞。
第4.3.6条技术竖井井壁应为非点燃体,其耐火极限不应低于1小时。井壁上查抄门的耐火极限不应低于0.6小时;竖井内在各层或隔绝距离一层楼板处,应采用相当于楼板耐火极限的非点燃体作水平防火分隔;穿过水平防火分隔的管线周围空隙,应采用非点燃原料紧密填塞。
第4.3.7条洁净厂房每一临蓐层、每一防火分区或每一洁净区的安全入口的数量,均不应少于两个。但符合下列要求者,可设置一个安全入口:
一、甲、乙类临蓐厂房每层的总建设面积不超过50平方米,且同一工夫内的临蓐人员总数不超出5人;
二、丙、丁、戊类临蓐厂房,符合国度现行的《建设打算防火范例》的规定者。安全入口应分散均匀布置,从临蓐地点至安全入口不得经过波折的人员污染路线。
第4.3.8条洁净区与非洁净区和洁净区与室外相通的安全分散门应向分散方向封闭。安全分散门不得采用吊门、转门、侧拉门以及电控主动门。
第4.3.9条当洁净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房洁净区的门窗,其洞口间距大于80米时,则应在该段外墙的适当部位设置公用消防口。公用消防口的宽度不应小于750毫米,高度不应小于1800毫
米,并应有理解明明标志。楼层的公用消防口应附设阳台,并从二层起向上设爬梯。
注:①公用消防口是消防人员为灭火而进入建设物的公用入口,通常封锁,使用时由消防人员从室外翻开。
②洁净厂房外墙上的吊门、电控主动门以及宽度小于750毫米,高度小于1800毫米或装有铁栅栏的窗,均不得作为火灾发生时能供消防人员进入的洞口。
第四节室内装修
第4.4.1条洁净厂房的建设围护结构和室内装修,应选用气密性优良,且在温度和湿度等变化作用下变形小的原料。墙面内装修当需附加机关骨架和保温层时,应采用非点燃体或难点燃体。
第4.4.2条洁净室内墙壁和顶棚的表面,应符合平整、光滑、不起灰、防止眩光、便于除尘等要求;应淘汰凹凸面,阴阳角做成圆角。室内装修宜采用干操作,如为抹灰时,应采用初级抹灰准则。
第4.4.3条洁净室的地面,应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、防止眩光、并有恬逸感等要求。
第4.4.4条洁净厂房技术夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内调换高效氛围过滤器时,宜增刷涂料饰面。地面、回风地沟和位于公开的技术夹层,应采用防水或防潮、防霉措施。建设风道和回风地沟的内表面装修准则,应与整个送、回风体例相适应,并应易于除尘。
第4.4.5条洁净室和人员污染用室设置的外窗,应采用双层玻璃金属窗,并应有优良的气密性。
第4.4.6条洁净室内的密闭门宜朝氛围洁净度较高的房间封闭。无窗洁净室的密闭门上宜设考核窗。
第4.4.7条洁净室门窗、墙壁、顶棚、地(楼)面的机关和施工缝隙,均应采取确实的密封措施。
第4.4.8条洁净室内的颜色宜浓艳温和。室内各表面原料的光反射系数,顶棚和墙面宜为0.6~0.8;地面宜为0.15~0.35。
第五节装配式洁净室
第4.5.1条在新建或改建的洁净厂房打算中,对于面积不大、层高较低、要求氛围洁净度较高的临蓐环境可采用装配式洁净室。
第4.5.2条装配式洁净室所在的房间应有氛围污染要求,并应与装配式洁净室的氛围洁净度等级相适应。核心建设的耐火等级不得低于二级。
第4.5.3条装配式洁净室顶棚可由装配式洁净室自身的壁板或支柱支承,也可稳定在核心建设上。回风地沟或回风地坑宜设在核心建设的地面以下。
第4.5.4条装配式洁净室打算应餍足在该室室内安设壁板的要求。装配式洁净室的构配件应做到:连接机关的整体性强、气密性好,并便于组装、装配、包装和运输。
第4.5.5条装配式洁净室的四周壁板中,宜有一面或两面紧贴或切近亲近核心建设的墙壁。紧贴时,壁板与墙壁之间的安设缝隙应封锁;切近亲近时,应留有清扫距离。当装配式洁净室壁板外侧设有技术夹道时,壁板与核心建设内墙面之间净宽不宜小于600毫米。
第五章氛围污染
第一节一般规定
第5.1.1条洁净厂房内各洁净室的氛围洁净度等级实在定,应符合下列要求:
一、洁净室内有多种工序时,应根据各工序的不同要求,采用不同的氛围洁净度等级。
二、在餍足临蓐工艺要求的前提下,洁净室的气流组织,宜采用局部管事区氛围污染和全室氛围污染相连接的形式。
第5.1.2条层流洁净室和乱流洁净室以及运转班次和使用工夫不同的洁净室,其污染氛围调动体例均宜离开设置。
第5.1.3条洁净室内的计算温、湿度,应符合下列规定:
一、餍足临蓐工艺要求
二、临蓐工艺无温、湿度要求时,洁净室温度为20~26℃,湿度小于70%;
三、人员污染用室和生活用室温度为16~28℃。
第5.1.4条洁净室内应保证必然的新颖空气量,其数值应取下列风量中的最大值:
一、乱流洁净室总送风量的10~30%,层流洁净室总送风量的2~4%;
二、赔偿室内排风和维系室内正压值所需的新鲜氛围量;
三、保证室内每人每小时的新颖氛围量不小于40立方米。
第5.1.5条洁净区的清扫,宜采用搬动式高效真空吸尘器或设置聚集式真空吸尘体例。洁净室内聚集式真空吸尘体例的管道,应暗敷。
第5.1.6条在污染氛围调动体例打算中,对施工和维护管理要求,可按附录四和附录五的规定。
第二节洁净室正压把持
第5.2.1条洁净室必需维持必然的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于0.5毫米水柱,洁净区与室外的静压差,不应小于1.0毫米水柱。
第5.2.2条洁净室维持不同的正压值所需的正压风量,宜按下式计算:
Q=a·Σ(q·L)(5.2.2)
式中Q——维持洁净室正压值所需的正压风量(平方米/时);
a——根据围护结构气密性确定的安全系数,可取1.1~1.2;
q——当洁净室为某一正压值时,其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(平方米/时·米);
L——围护结构的缝隙长度(米)。
第5.2.3条围护结构单位长度缝隙的渗漏风量,可按表5.2.3采用。
第5.2.4条送风、回风和排风体例的启闭应联锁。体例封闭时,联锁程序应为先发动送风机,再发动回风机和排风机;体例关闭时,则联锁程序应相同。
第5.2.5条非不断运转的洁净室,可根据临蓐工艺要求设置值班风机,并应对新风进行处理。
第三节气流组织和送风量
第5.3.1条气流组织的抉择,应符合下列要求:
一、洁净管事区的气流速度,应餍足氛围洁净度和人体壮健的要求,并应使洁净管事区气流流向繁多;
二、回风口宜均匀布置在洁净室下部
三、余压阀宜设在洁净室气流的上风侧,不宜设在洁净管事区高度限度内。
第5.3.2条洁净室的气流组织和送风量,宜按表5.3.2选用。
第5.3.3条乱流洁净室的送风量,应取下列规定的最大值:
一、为把持室内氛围洁净度所必要的送风量
二、按表5.3.2规定的送风量;
三、根据热、湿负荷计算和稀释无害气体所需的送风量;
四、按氛围均衡所必要的送风量
第5.3.4条当临蓐工艺仅要求在洁净室内局部管事区抵达更高的氛围洁净度时,其气流组织打算应使洁净气流首先流经该管事区,或在洁净室的不同区域形成不同气流流型和氛围洁净度等级的洁净管事区,其型式可差异按图5.3.4—1.图5.3.4—2选用。

注:①垂直层流洁净室采用绝对两侧墙下部均匀布置回风口方式,仅适用于两对侧墙间距不大于5米。
②乱流洁净室送风量实在定,宜思虑室内含尘浓度不均匀分散的身分。

第5.3.5条层流洁净室内不宜设置洁净工作台;乱流洁净室内可设置洁净管事台,但其地点应远离回风口。
第5.3.6条洁净室内有局部排风装置时,其地点应设在管事区气流的上风侧。
第四节氛围污染处理
第5.4.1条各等级氛围洁净度的氛围污染处理,均应采用初效、中效、高效氛围过滤器三级过滤。
注:100-000级氛围污染处理,可采用亚高效氛围过滤器取代高效氛围过滤器。
第5.4.2条确定聚集式或分散式污染氛围调动体例时,应综合思虑临蓐工艺特质和洁净室氛围洁净度等级、面积、地点等身分。凡临蓐工艺不断、洁净室面积较大、地点聚集以及噪声把持和振动把持要求庄重的洁净室,宜采用聚集式污染氛围调动体例。
第5.4.3条污染氛围调动体例打算应合理利用回风,凡工艺经过孕育发生大量无害精神且局部处理不能餍足卫生要求,或对其他工序有危害时,则不应利用回风。
第5.4.4条污染氛围调动体例除直流式系统和设置值班风机的体例外,应采取防止室外污染氛围经由过程新风口渗入洁净室内的防倒灌措施。
第5.4.5条氛围过滤器的选用、布置和安装方式,应符合下列要求:
一、初效氛围过滤器不应选用浸油式过滤器:
二、中效氛围过滤器宜聚集设置在污染氛围调节体例的正压段;
三、高效氛围过滤器或亚高效氛围过滤器宜设置在污染氛围调动体例末端;
四、中效、亚高效、高效氛围过滤器宜按额外风量选用;
五、阻力、效率相近的高效氛围过滤器宜设置在同一洁净室内;
六、高效氛围过滤器的安设方式应简单确实,易于检漏和调换;
第5.4.6条送风机可按污染氛围调动体例的总送风量和总阻力值进行抉择。中效、高效氛围过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。
第5.4.7条污染氛围调动体例如需电加热时,应选用管状电加热器,地点应布置在高效氛围过滤器的优势侧,并应有防火安全措施。
第五节采暖通风
第5.5.1条洁净室的采暖型式,应按下列不同境况确定:
一、100级、1000级、10,000级洁净室,不应采用散热器采暖,100,000级洁净室,不宜采用散热器采暖。
二、值班采暖可利用技术夹道的散热器进行间接采暖,或采用间歇运转污染氛围调动体例,值班风机体例进行热风采暖。
第5.5.2条散热器应采用表面光滑、不易积尘、便于清扫的型式。
第5.5.3条洁净室内孕育发生粉尘和无害气体的工艺设备,应设局部排风装置、排风罩的操作口面积应尽量收缩。
第5.5.4条局部排风体例在下列境况下,应单独设置:
一、非同一污染氛围调动体例
二、排风介质混合后能孕育发生或加剧腐蚀性、毒性、点燃爆炸危险性;
三、所排出的无害物毒性相差很大
第5.5.5条洁净室的排风体例打算,应采取下列措施:
一、防倒灌措施
二、含有易燃、易爆精神局部排风体例的防火、防爆措施。
第5.5.6条换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等,应采取通风措施,其室内的静压值,应低于洁净区。
第5.5.7条洁净室事故排风体例的换气次数,应采用每小时15~20次。事故排风装置的把持开关,应差异设在洁净室和室外便于操作的地点,并应与污染氛围调动体例联锁,其室内宜设报警装置。
第六节风管和附件
第5.6.1条风管断面尺寸实在定,应思虑能对风管内壁进行清洁处理,并在适当地点设置密闭的清扫口。风管壁厚按附录六选用。
第5.6.2条污染氛围调动体例的新风管、回风总管,应设置密闭调动阀。送风机的吸入口处和必要调动风量处,应设置调动阀。洁净室内的排风体例,应设置调动阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板微风管穿过防火墙处,必需设置防火阀。
第5.6.3条污染氛围调动体例的风管和调节阀以及高效氛围过滤器的爱惜网、孔板和分散孔板等附件的制作原料和涂料,应根据运输氛围的洁净要求及其所处的氛围环境条件确定。洁净室内排风体例的风管、调动阀和止回阀等附件的制作原料和涂料,应根据清除气体的本质及其所处的氛围环境条件确定。
第5.6.4条在中效和高效的氛围过滤器前后,应设置测压孔。在新风管和送回风总管以及必要调动风量的支管上、应设置风量测定孔。
第5.6.5条清除腐蚀性气体的风管,可采用塑料风管,其他风管以及风管的保温和消声原料及其粘结剂,应采用非点燃原料或难点燃原料。
第六章给水排水
第一节一般规定
第6.1.1条洁净厂房内的给水排水干管,应敷设在技术夹层、技术竖井、地沟管槽内或公开埋设。
洁净室内应少敷设管道,引入洁净室的支管宜明敷,但对氛围洁净度等级要求高的洁净室可暗敷。
第6.1.2条洁净厂房内的管道外表面,如可能结露,应采取防结露措施。
第6.1.3条管道穿过洁净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道与套管之间应采取确实的密封措施。
第6.1.4条管道不宜穿过防火墙。如必需穿过时,穿墙管及其套管应为非点燃体管材。
第二节给水
第6.2.1条洁净厂房内的给水体例打算,应根据临蓐、生活和消防等各项用水对水质、水温、水压和水量的要求,差异设置直流、循环或反复利用的给水体例。高纯水体例应设置循环管道。
第6.2.2条管材的抉择,应符合下列要求:
一、纯水管、高纯水管应采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管;
二、冷却循环给水和回水管宜采用镀锌钢管
三、临蓐用水设备与管道的连接宜采用优良软管;
四、管道的配件应采用相应的原料
第6.2.3条洁净厂房内可设置开水提供设施;盥洗室内的盥洗盆宜提供热水;硬化水、纯水管道应预留清洗口;纯水终端污染装置应放在切近亲近用水点处。
第6.2.4条洁净厂房的周围,应设置洒水设施。
第三节排水
第6.3.1条洁净厂房的排水体例打算,应根据临蓐排出的废水本质、浓度、水量等特质确定排水体例,并应有废水处理或综合利用设施。
第6.3.2条洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备,必需在其排入口以下部位设水封装置,并应有防止水封被捣鬼的设施。
第6.3.3条100级、1000级洁净室内,不宜设置地漏;如必需设置时,应采用有盖地漏,并不应设排水沟。10-000、100-000级洁净室内允许穿过排水竖管,但在竖管上不得设置查抄口。
第6.3.4条洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清扫的卫生用具、管材、管架及其附件。
第四节消防设施
第6.4.1条洁净厂房应根据临蓐的火灾危险性分类和建设物耐火等级等身分确定消防设施。
第6.4.2条洁净厂房室内消火栓给水体例的消防用水量,不应小于10升/秒,每股水量不应少于5升/秒。
第6.4.3条洁净厂房的消火栓设置,应符合下列要求:
一、消火栓的水枪充实水柱,不应小于10米。
二、消火栓的栓口直径应为65毫米,装备的水带长度不应超出25米,水枪喷嘴口径不应小于19毫米。
第6.4.4条洁净室及其技术夹道和技术夹层内,均宜同时设置卤代烷或二氧化碳等灭火设施和消防给水体例。对设有宝贵设备仪器或临蓐的火灾危险性较大的洁净室,以及当火灾发生时,消防人员难以进入挽回的技术夹层和技术夹道等部位,应同时设置卤代烷或二氧化碳等稳定灭火装置和消防给水体例。
第七章工业气体管道
第一节一般规定
第7.1.1条工业气体管道的干管,应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道宜明敷,如敷设在技术夹层、技术夹道内时,应采取优良的通风措施。
引入洁净室的支管宜明敷。
第7.1.2条高纯气体管道打算,应符合下列要求:
一、根据计算确定管径
二、管道体例应尽量短
三、不宜设预留口
四、不应出现“盲管”等不易吹除的部位
五、干管和支管上应设置吹除口
六、在管道体例上应设置必要的取样口
第7.1.3条穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道,应敷设在预埋套管内,套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采取确实的密封措施。
第7.1.4条氢气和氧气管道的末端或最高点宜设放散管。
放散管应高出屋脊1米,并应设在防雷爱惜区内。
第7.1.5条气体污染装置应根据气源和生产工艺对气体纯度的要求进行抉择。气体终端污染装置应设在切近亲近用气点处。
第7.1.6条气体过滤器应根据临蓐工艺对气体含尘量的要求进行抉择。高纯气体管道应装设高效气体过滤器。
第二节管道原料、阀门和附件
第7.2.1条根据不同的气体及其纯度和用途,管道原料应按下列规定选用:
一、气体纯度大于或等于99.999%时,应采用不锈钢管;
二、气体纯度大于或等于99.99%时,宜采用不锈钢管、铜管、无缝钢管;
三、气体纯度小于99.99%时,可采用无缝钢管;
四、管道与设备的连接段,宜采用金属管道;如为非金属软管时,宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管,不得采用乳胶管。
第7.2.2条高纯气体管道应采用密封机能好的阀门和附件,其原料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯原料。阀门的填塞料应采用聚四氟乙烯原料。
第7.2.3条高纯气体管道与附件连接的密封垫,应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶原料。
第三节管道连接和清洗
第7.3.1条管道连接应采用焊接。高纯气体管道应采用承插焊。
第7.3.2条管道与设备、阀门的连接处,宜采用法兰、螺纹或其它密封机能优良的连接件。螺纹处宜采用聚四氟乙烯带密封。
第7.3.3条高纯气体管道内的内壁、阀门和附件在安设前,应进行清洗、脱脂等预处理。
第四节安全技术
第7.4.1条工业气体管道打算的安全技术,应符合下列规定:
一、氢气管道的支管和放散管上,应设置回火防止器;
二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置
三、各种气体管道应设理解明明标志
第7.4.2条洁净室内使用氢气时,宜在室内设置报警装置。
第7.4.3条各种气瓶应聚集设置在洁净厂房外。当日用气量不超出一瓶时,气瓶可设置在洁净室内。
第八章电气
第一节配电
第8.1.1条洁净厂房的电力负荷等级,应根据临蓐工艺要求确定。污染氛围调动用电负荷、照明负荷,应由变电所专线供电。
第8.1.2条电源进线(不包括消防用电)应设置切断装置,并宜设在非洁净区便于管理的地点。
第8.1.3条洁净室内的配电设备,应抉择不易积尘的设备,并宜暗装。大型配电设备不宜设在洁净室内。
第8.1.4条洁净室内的电气管线宜暗敷,管材应采用非点燃原料。由非洁净区进入洁净区的电气管线管口,应采取确实的密封措施。
第二节照明
第8.2.1条洁净室内的照明光源,宜采用荧光灯。如达不到照明打算的技术经济目标要求时,也可采用其他光源。
第8.2.2条洁净室内一般照明灯具宜明装。如灯具嵌入顶棚暗装时,其安设缝隙应采取确实的密封措施。
洁净室内不应采用格栅型灯具。
第8.2.3条无采光窗洁净区管事面上的照度值,不应低于表8.2.3的规定数值。
第8.2.4条无采光窗洁净区混合照明中的一般照明,其照度值该当按等级混合照明照度值的10-15%采用,并不应低于150勒克斯。
第8.2.5条洁净厂房内应设置供人员分散用的事故照明。
在应急安全入口和分散通道转角处应设置标志灯。在公用消防口处应设置血色应急照明灯。
第8.2.6条洁净室内一般照明的照度均匀度不应小于0.7。
注:①一般照明是指单独使用的一般照明。
②混合照明的最低照度是指现实管事面上的最低照度值。
③Ⅰ~Ⅳ一般照明的最低照度值是指距墙面1米(小面积房间为0.5米),距地面为0.8米假定管事面上的最低照度值。
④通道、停息室一般照明的最低照度的是指地面处的最低照度值。
⑤如暗房管事室为红或黄灯照明时,一般照明的最低照度值是指距地面0.8米假定管事面上的最低照度值。
第三节把持、通信和防护
第8.3.1条洁净厂房的污染氛围调动把持体例,应餍足临蓐工艺对温度、湿度和正压的要求。污染氛围调动体例所采用的电加热器,应设置无风断电爱惜。
第8.3.2条洁净厂房内应设置与厂房内外关联的通信装置。
第8.3.3条洁净厂房(包括技术夹层)应单独或组合设置感温、感光、感烟等形式的火灾探测器。报警器(受讯台)应设置在有人值班的地点,供电应确实。
第8.3.4条洁净区内应设蹙迫按钮。如发生火灾危险时,应能收报答警信号,并应同时切断风机电源。
附录二洁净室氛围洁净度的测试
一、洁净室的氛围洁净度,应进行下列测试:
(一)、空态、静态测试
空态测试:洁净室已完工,污染氛围调动体例已处于正常运转形态,室内没有工艺设备和临蓐人员的境况下进行测试。
静态测试:洁净室污染氛围调动体例已处于正常运转形态,工艺设备已安设,室内没有临蓐人员的境况下进行测试。
(二)、静态测试
洁净室已处于正常临蓐形态下进行测试。
二、洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通风、氛围调动的有关规定执行。
三、空态、静态测试
(一)、测试前的盘算
1、应对洁净室及其污染氛围调动体例进行彻底清洁。
2、采用光散射粒子计数器对高效氛围过滤器进行检漏测试。首先测定高效氛围过滤器的优势侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30.000粒/升。如若不够,可引入烟雾。然后起头检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效氛围过滤器2~3厘米处,可以2~4厘米/秒的速度搬动,对高效氛围过滤器整个断面、封头胶处和安设框架处进行扫描。当粒子计数器读数为氛围中大于或等于0.5微米的尘粒超出3粒/分·升(或其穿透率大于0.01%)即以为该处有理解明明渗漏,必需进行堵漏。
(二)、测试形式
1、总送风量、总回风量、新颖氛围量、排风量等;
2、洁净室压力值
3、层流洁净室断面风速和睦流流向
4、洁净管事区的洁净度
5、室内温度、湿度及其把持才略的调整测试
6、洁净室内噪声
(三)、洁净管事区氛围洁净度的测试手腕
对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数,也可采用滤膜显微镜计数法。
光散射粒子计数法:
1、光散射粒子计数器采样量
100级:每次采样量大于或等于1升。
1-000级~10-000级:每次采样量大于或等于0.3升。
100-000级:每次采样量大于或等于0.1升。
对于100级洁净室,宜采用大流量粒子计数器进行测试;假如条件不齐备时,可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。
2、采样谨慎事项
(1)、采样管必需干净,连接处严禁渗漏。
(2)、采样管的长度,应根据仪器的允许长度,当无规定时,不宜大于1.5米。
(3)、采样管口的流速,宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的上风侧。
(4)、采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。
3、测点布置
(1)、检测在洁净管事区内进行。当临蓐工艺无分外要求时,取样高度宜为离地面1米。
(2)、层流洁净室测点总数不小于20点,测点间距为0.5~2.0米,粒径大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点超出。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净管事区内。
(3)、乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2);每增加20~50平方米,增加3~5个测点。
4、数据清理
(1)、每个测点的数据清理应在测试仪器稳定运转的条件下不断三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值。
(2)、对于大于或等于0.5微米的尘粒数确定:层流洁净室取各测定点最大值,乱流洁净室取各测点的平均值。
(四)、正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。
四、静态测试
在洁净管事区操作地点抉择有代表性测点的气流优势向进行,测试手腕同空态、静态测试。
附录三洁净厂房临蓐的火灾危险性分类举例
注:①洁净厂房临蓐的火灾危险性分类举例,是根据国度现行《建设打算防火范例》火灾危险性的特征进行分类举例的。
②本举例仅陈列了局部行业,其它行业的洁净厂房临蓐火灾危险性分类,可参照上述举例确定。
③在临蓐经过中,如使用或孕育发生易燃精神的量较少时,可根据国度现行的《建设打算防火范例》有关规定确定其火灾危险性类别。
附录四污染氛围调动体例打算对施工的要求
一、风管、静压箱和附件的施工,应符合下列要求:
(一)、施工现场应维系清洁。风管及其附件、静压箱、氛围调动器、技术夹层、机房以及其它设备、装置等的清洁管事应边施工边进行;
(二)、风管、静压箱和附件等制作后,应寄生活清洁、枯燥的地点,并应采取防止积尘的措施;
(三)、采用复合钢板、镀锌钢板制作的风管,在加工、安设、施工经过中造成的破损应补涂涂料;
(四)、清扫、擦拭应选用不产尘、不掉纤维的工具和原料。
二、高效和亚高效氛围过滤器的安设,应符合下列要求:
(一)、必需在土建施工、污染空调体例初效、中效氛围过滤器安设完毕全体例进行查抄、擦拭、吹洗运转12小时前方能进行;
(二)、高效氛围过滤器必需在安设时方可从爱惜袋中取出,同时应进行透光目视查抄,凡滤纸破损、漏胶和外框变形者,不得安设;
(三)、过滤器与安设框架之间,必需采取密封措施;
(四)、过滤器安设就位后,必需进行检漏和堵漏。
三、装配式洁净室、氛围吹淋室、气闸室、余压调动阀等污染设备和部件的安设,应庄重按照产品的安设、施工要求进行。
附录五污染氛围调动体例打算对维护管理的要求
一、洁净室的氛围,宜按附表5规定进行监测。
二、在下列任何一种境况下,应调换高效氛围过滤器:
(一)、气流速度降到最低限度。即使调换初效、中效氛围过滤器后,气流速度仍不能增大;
(二)、高效氛围过滤器的阻力抵达初阻力的两倍;
(三)、高效氛围过滤器出现无法修补的渗漏。
三、当洁净厂房内采用高效真空吸尘器进行清扫时,必需按期查抄吸尘器排气口的含尘浓度。
附录六污染氛围调动体例风管壁厚
附录七本范例用词说明
一、执行本范例条文时,对于要求庄重水平的用词说明如下,以便执行中区别看待。
1、表示很庄重,非这样作不可的用词:
反面词采用“必需”;
反目词采用“严禁”。
2、表示庄重,在正常境况下均应这样作的用词:
反面词采用“应”;
反目词采用“不应”或“不得”。
3、表示允许稍有抉择,在条件允诺时首先应这样作的用词:
反面词采用“宜”或“可”;
反目词采用“不宜”。
二、条文中指明必需按其他有关准则、范例执行的写法为,
“应按……执行”或“应符合……要求或规定”。非必需按所指定的准则和范例执行的写法为,“可参照……”。


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评论

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